เครื่องปฏิกรณ์ mocvd ให้ความร้อนด้วยการเหนี่ยวนำ

เครื่องปฏิกรณ์ MOCVD แบบเหนี่ยวนำความร้อน

เครื่องปฏิกรณ์การสะสมไอสารเคมีโลหะอินทรีย์ (MOCVD) ให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเป็นเทคโนโลยีที่มุ่งปรับปรุงประสิทธิภาพการทำความร้อนและลดการมีเพศสัมพันธ์แม่เหล็กที่เป็นอันตรายกับทางเข้าก๊าซ เครื่องปฏิกรณ์ MOCVD ที่ให้ความร้อนจากการเหนี่ยวนำและความร้อนแบบทั่วไปมักจะมีคอยล์เหนี่ยวนำอยู่นอกห้องเพาะเลี้ยง ซึ่งอาจส่งผลให้การให้ความร้อนมีประสิทธิภาพน้อยลงและอาจเกิดการรบกวนทางแม่เหล็กกับระบบส่งก๊าซได้ ล่าสุด … อ่านเพิ่มเติม

=